高真空镀膜仪

仪器名称：

高真空镀膜仪

仪器型号：

Leica EM ACE600

负责人：

林承焰（教授）

Email：lincy@upc.edu.cn

购置日期和购置厂家：

德国徕卡

一、主要技术指标和参数：

1. 无油真空系统：4级隔膜泵（13L/min）+涡轮分子泵(67L/s)

2. 极限真空度：＜1×10-5mbar

3. 镀膜方式：金属离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法（同时安装两种靶材）

4. 镀膜厚度：1-100nm可调，QSG石英膜厚检测器控制膜厚，检测精度0.1nm

5. 金属样品仓，玻璃单仓门，超大面积观察窗，样品仓内壁可拆卸，宽：200mm，深：150mm，高：195mm

6.  LED样品仓内部照明

7.  内置式彩色触摸屏电脑控制：可设置样品台高度、倾斜角度、旋转速度，镀膜材质、镀膜厚度等参数，自动完成镀膜工作。

8. 电动马达驱动样品台

8.1三方向电动马达驱动样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离

8.2旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节

8.3样品台角度：+/-60°可调，触屏控制，马达自动调节

8.4工作距离调节范围：30-100mm，触屏控制，马达自动调节

8.5样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台（12.7mm）

二、主要用途：

高真空镀膜仪能够实现铂金、碳等材料的喷镀，喷镀厚度可实时监控，均一性更好，便于后期电镜观察分析。