仪器名称： 能谱仪（EDS）-电子背散射衍射（EBSD）分析系统 |
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仪器型号： Ultim Max 40 & C-Nano | |
负责人： 林承焰（教授） Email：lincy@upc.edu.cn | |
购置日期和购置厂家： 英国牛津 | |
一、主要技术指标和参数： 1.能谱仪 1.1. *探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体有效面积40mm2，高分子超薄窗设计。 1.2. 封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。 1.3. *能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）； F Ka 保证优于64eV（@计数率130,000cps）；能量分辨率: C Ka 保证优于56eV（@计数率130,000cps）；保证符合ISO 15632:2012标准。 1.4. 元素分析范围: Be4～Cf98。 1.5. 探测器可软件控制，自动伸缩。 1.6. 具备元素spectrum Live实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程。 1.7. 在谱图实时采集时，动态显示MinQuant的定量分析结果，以含量、原子比或氧化物百分比呈现。 1.8. *具备元素面分布Live实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，Mapping的动态变化过程。 1.9. 具备零峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。 1.10. 具有实时谱图比对功能。 1.11. 线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。 1.12. 可实现光电联用，并结合样品形貌实现样品导航及定位功能。 1.13. 含有元素追踪功能：实时记录样品轨迹，并通过元素含量指示，一键返回感兴趣区域。 1.14. 定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。 1.15. 定量分析：采用XPP定量修正技术。 1.16. 具有完备的5KV和20KV两个无标定量数据库。 1.17. 电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。 2.电子背散射衍射仪 2.1. *高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，并能够与各主流型号的电镜良好配合。 2.2. EBSD在线解析标定速度不低于400pps，此时花样分辨率仍能保持为312*256。全分辨率1244*1024花样采集标定时，速度不低于80pps。 2.3. 电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096。 2.4. *取向精度高达0.05度。 2.5. 采用专门定制的光学系统，由光纤板将荧光屏接受到的信号无损的传导到CMOS芯片，有效增大光通量，特别适合弱信号分析。 2.6. *独有的接近传感器，保护EBSD探测器前端，在碰撞接触前就探测并预警。 2.7. 探测器插入退出，最快速度：15mm/s，精度：<10μm。 2.8. 软件配置 2.8.1. 应用软件采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制。操作软件完全与能谱仪软件一体化（需要配有牛津能谱仪），可进行EBSD晶体取向分布分析。可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定（Phase ID），实现能谱EBSD同时联机分析且不降速； 2.8.2. 动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化，大大减轻用户工作量。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩、倾转后均无需重新扣除背景或重新优化。 2.8.3. 能对所有对称性（从三斜到立方）晶体材料的EBSP花样进行自动化的标定，且各相的反射面可以独立选择，并可以进行带宽修正，也可以对衍射带边缘及中间进行标定。 2.8.4. 配置HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库，数据容量不小于5万种，已经滤掉伪对称数据。 2.8.5. 采用最优化的Hough变换，多条带标定方法（最多可以用12根菊池带进行标定），根据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定。适合金属，陶瓷，地质，半导体等多种类型的样品；同时配有专用的高精度标定模式，实现更高角度分辨率的标定；以及专用的分析透射样品的TKD标定模式，有效提高空间分辨率。 2.8.6. 配有64位后处理软件包，和采集软件一体化风格，方便高效，包含且不限于如下功能：晶粒度统计、晶界分析、物相鉴定、极图和反极图分析、可自动剥离形变和再结晶区。 | |
二、主要用途： EDS及EBSD与电镜结合，可以用来研究岩石材料的晶体尺寸、晶界、变形情况、相分析等。以泥岩和砂岩为例，EDS和EBSD相结合可进行复杂物相鉴定，晶粒大小分析，晶粒取向分析，应变分析等，可以更加深入的对课题进行研究。 | |
