场发射环境扫描电镜

仪器名称：

场发射环境扫描电镜

仪器型号：

Quattro S

负责人：

林承焰（教授）

Email：lincy@upc.edu.cn

购置日期和购置厂家：

美国FEI公司

2020.09.15

一、主要技术指标和参数：

1电子光学系统:

 1.1 分辨率: 二次电子 (SE) 像

 1.1.1 高真空模式：30 kV时1.0 nm；1 kV时 3.0 nm

 1.1.2 低真空模式：30 kV时1.3 nm；3 kV时 2.5 nm

 1.1.3 环境真空模式 (ESEM)：30kV 时 1.3 nm

1.2 分辨率: 背散射电子 (BSE) 像：30kV时2.5nm

 1.3 加速电压： 0.2kV－30KV

 1.4 放大倍数：6倍－250万倍

 1.5 电子枪：Schottky肖特基场发射电子枪，最大束流200nA

 1.6 物镜光阑：物镜光阑应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

 1.7 二次电子和背散射电子成像系统: 自动调节和手动调节亮度、对比度

 2样品室

 2.1 样品台：五轴马达驱动，全对中样品台

移动范围：X = 110mm，Y =110mm，Z = 65mm；T = -15°to +90°，R= 360°连续旋转

T = -15° to +90°，R= 360°连续旋转

 2.2 样品室尺寸: 左右内径 340mm

 2.3 分析工作距离 10 mm

 2.4 重复精度：3μm (X/Y方向)

 2.5 至少12个探测器/附件接口

 3检测器：

 3.1 高真空模式二次电子检测器；

 3.2 低真空模式气体二次电子探头；

 3.3 环境真空模式气体二次电子探头；

 3.4 低电压高灵敏度背散射电子检测器；

 3.5 样品室红外CCD相机

 4数字图像记录系统

 4.1 图像处理：最大6K x 4K像素

 4.2 图像显示：单幅图像显示或4幅图像同时显示 (四活动窗口)

 4.3 图像记录: TIFF，BMP或JPEG

4.4 自动记录数字电影 (.avi) 功能

 4.5 智能扫描 (256帧平均或积分, 线积分或平均, 隔行扫描)

 4.6 漂移补偿帧积分

 4.7 实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合

 5控制和数据处理系统

 5.1 基于以太网架构的数据传输系统

5.2 系统计算机

 5.3 图像显示器：24寸Dell液晶显示器，显示器分辨率1920 x 1200

 6真空系统

 6.1 由涡轮分子泵，离子泵，与机械泵组成

 6.2在镜筒与样品室之间有真空隔离装置，防止更换样品时，镜筒内被污染和保护灯丝

 6.3样品室真空度：高真空模式下优于6×10-4Pa

低真空模式下200Pa；环境真空模式下4000Pa

 6.4典型换样时间：高真空模式≤3.5分钟；

  低真空模式≤5分钟。

 7标准应用软件

 7.1 样品台图像导航功能

 7.2 鼠标拖曳式放大及对中功能

 7.3 直方图及图像测量软件

 7.4 数字动画记录

二、主要用途：

扫描电子显微镜检测电子束激发样品产生的二次电子和背散射电子以及X射线等信号，以获得样品表面形貌，结合能谱仪等分析仪器可以对微区成分进行检测。是用于试样的显微形貌观察及微区成分分析的必备手段，除气体外的试样，均可用扫描电镜进行观察。在石油天然气领域，其适用于观察非常规油气样品的微纳米孔隙结构、大小、类型，微裂缝发育等；研究微纳孔隙及裂缝隙上附着的水油或沥青，对岩石孔隙的含水饱和度及含油饱和度等进行研究。